Автореферат - бесплатно , доставка 10 минут , круглосуточно, без выходных и праздников. Ахмадеев Юрий Халяфович. Несамостоятельный тлеющий разряд с полым катодом для азотирования титана : дис. Глава 2 Генераторы низкотемпературной плазмы на основе разряда низкого давления с полым катодом